超精密振动研磨机控制系统的选用

针对于超精密振动研磨机控制系统的选择和设计，往往需要根据该设备制定元件的控制要求来进行综合考虑。研磨机伺服系统电机超精密研磨的主要功能，是获得极高的零件表面质量，主要指极低的表面粗糙度，极高的面型精度（平面度、平行度、圆度等）和无加工变质层（表面完整性）。

也就是说，超精密振动研磨机的好处在于只有运用超精密的研磨技术，才可以获得无加工变质层表面的产品；这一点对很多晶体材料、功能材料的制造是至关重要的。超精密研磨能实现原子级的材料去处，是一种实现加工极限精度的方法。其中执行元件指的是是位于电器控制装置和机械执行装置接点部位的一种能量转换装置，它能在控制装置的控制下，将输入的各种形式的能量转换成机械能。

如果超精密振动研磨机控制系统采用伺服系统的话，那么其中的执行元件主要包括有：种就是电气式主要有步进电动机、直流伺服电动机、交流伺服电动机等。液压式主要有液压缸液压马达等，其优点是输出功率大，动作平稳，但需要相应的液压源，占地面积大。容易漏油而污染环境，控制性能不如伺服电动机；

其次是气压式，该系统的主要优势在于气源方便，成本经济，动作快。因而在进行伺服系统设计时，只需根据需要进行合理的选用即可。在振动研磨机的设计中选用的执行元件为直流伺服电动机，直流伺服电动机具有相应迅速，精度和效率高，调速范围宽，负载能力大，控制特性优良等优点。

在超精密振动研磨机组成中，其伺服系统对执行元件的要求主要包括四个方面：1、惯性小、动力大；2、体积小、质量轻；3、便于计算机控制机电一体化；4、成本低、可靠性好、便于安装和维修。